类金刚石膜的电阻率及光吸收特性研究

摘要

＜正＞ 一、引言类金刚石非晶碳膜具有硬度大、化学稳定、绝缘强度高、对红外光透明等优良特性,得到广泛的应用。人们使用等离子体、离子束和激光束等多种方法制备了类金刚石非晶碳膜。近年来人们对在电子器件方面的应用,特别是作为半导体材料的研究尤为