多功能集成传感器中多晶硅桥的研究

摘要

本研究将多晶硅桥结构作为多功能集成传感器的敏感元件,可用于测量流速、流向、温度,光学量等等,其工艺简单,性能优良,兼容性强,设计灵活,为解决传感器的集成化、多功能化,实现微机械加工技术提供了有效的途径。水文介绍了主要工作原理,给出了多晶硅桥制造的工艺条件,理论分析与实验结果一致。