BF2注入湿氧退火时漏电机理探讨

摘要

＜正＞ 一、引言 用BF2代替B对CMOS源、漏P管注入具有几方面的优点。第一,束流大;第二,容易形成浅结;第三,湿O2退火时,依赖于反偏电压,BF2注入比B注入漏电小1～2个数量级。 在探讨BF2注入漏电小的机理时,有人提出吸杂效应。吸杂是将杂质和缺陷移出空间