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赵韦良; 崔峰;
上海交通大学微纳电子学系微米纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240;
MEMS; 流速传感器; 非晶锗薄膜热电阻; 自加热; 恒电流工作;
机译:基于氢化非晶硅锗薄膜的微结构的制造工艺,用于MEMS器件
机译:硅基板上微机加工热电阻流速传感器的敏感性优化
机译:本征非晶硅锗膜的带隙分布及其在非晶硅锗异质结太阳能电池中的应用
机译:MEMS技术制造的热电阻铂薄膜氢气传感器
机译:通过化学退火制造高质量,低带隙的非晶硅和非晶硅锗合金太阳能电池。
机译:基于非晶线GMI效应的高集成度MEMS磁传感器
机译:一种使用周期性加热测量流速的新方法,以及MEMS技术制造的微流量传感器的传感特性
机译:非晶金刚石mEms和传感器
机译:聚硅烷和聚锗烷的生产方法,以及沉积氢化非晶硅,其合金或氢化非晶锗的方法
机译:非晶硅/非晶硅锗NI1PI2N红外位置探测器的制造
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