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赵江; 张雷; 顾培楼; 黄其煜;
上海华虹宏力半导体制造有限公司;
上海201206;
上海交通大学电子信息与电气工程学院;
上海200240;
嵌入式闪存; 金属互连; 失效分析; 铝铜合金; θ相;
机译:用于0.13μm互补金属氧化物半导体生成的稳健的嵌入式梯形氧化物/ Cu多级互连技术
机译:基于纳米粒子和等离振子共振的探针,用于ULSI微芯片的失效分析和金属互连的电特性
机译:涉及消隐过程中尺寸效应的超薄金属金属的撕裂失效:基于改进GTN模型的分析
机译:跳棋板失效对0.15μm嵌入式闪存产生改进的影响
机译:提取分析,磨损测量和有限元分析在金属对金属全髋关节置换术潜在失效机理的识别中的应用。
机译:在现代中型和大口径金属对金属髋关节置换术中由于对金属碎片的不良反应而导致的失效率-新型筛查方法的影响:系统评价和Meta回归分析
机译:金属互连的激光连接:使用聚焦离子束铣削的工艺考虑和失效分析
机译:改进低密度金属密封金属化薄膜电容器筛选技术的试验和失效分析
机译:在0.13微米或以下的微孔中形成接触和金属互连以提高屈服并减小晶胞尺寸的方法
机译:在半导体装置中形成金属互连的方法,该半导体互连能够防止金属互连之间的短路并增加金属互连之间的电容
机译:嵌入式闪存卡和使用该嵌入式闪存卡的电子设备,以及用于嵌入式闪存卡的工程板
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