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王久丽; 张谷令; 王友年; 刘元富; 刘赤子; 杨思泽;
中国科学院物理研究所;
北京100080;
大连理工大学三束国家重点实验室;
大连116024;
等离子体鞘层模拟; 流体模型; 粒子模拟; 等离子体源离子注入; 扩展动力学; 低温等离子体材料; 表面改性;
机译:等离子体浸没离子注入中的鞘层和鞘层动力学
机译:等离子体源离子注入中无碰撞和碰撞鞘层演化的数值研究
机译:鞘层演化的扰动分析及其在等离子体源离子注入中的应用
机译:等离子体源离子注入中的动态鞘层研究
机译:等离子体鞘层在总的非双极射频产生的等离子体电子源中的行为。
机译:锂离子电池电解液溶剂化鞘层中的超快通量交换动力学
机译:等离子体鞘层扩展的数值模拟及其在等离子体源离子注入中的应用
机译:等离子体源离子注入球形和圆柱几何形状时空鞘层演化的测量
机译:双射频扩展等离子体鞘层和团块的方法
机译:等离子体处理系统,等离子体鞘层电压建立方法以及能够读取能够执行该方法的指令的存储介质
机译:用于补偿等离子体处理系统中基板处的等离子体鞘层不均匀性的装置和方法
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