等离子体基离子注入菱形靶鞘层扩展的流体动力学模拟

摘要

利用流体动力学模型,研究了围绕菱形靶的等离子体鞘层扩展.通过改变靶的形状,考察了不同角度外角对鞘层的时空演化及等离子体参量的影响.结果表明,外角愈尖锐,鞘层扩展速度愈慢,而参考平面处鞘层扩展速度最快,因而使鞘层有向圆柱形扩展的趋势;尽管尖锐的外角处电荷密度高,会吸引较多的离子轰击该处,但非垂直入射会显著降低离子入射剂量.