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张丽民; 刘淑凤; 夏雯; 李冀东;
北京有色金属研究总院国家有色金属及电子材料分析测试中心,北京100088;
PECVD; 非晶硅; Al诱导晶化真空退火; 机理;
机译:通过PECVD制备的非晶和部分纳米晶氢化硅薄膜的结构演变的拉曼表征
机译:H_2稀释的SiH_4-等离子体在电感耦合低压RF PECVD中制备的纳米晶硅薄膜的光谱研究
机译:PECVD法制备非晶硅薄膜中嵌入的硅纳米晶体的结构和光学性质
机译:在RF-PECVD中制备的(SIH4 + B2H6 + H2 + N 2 O)等离子体在RF-PECVD中制备的P型氢化氧化硅薄膜蓝响应的改进,以应用非晶硅太阳能电池
机译:非晶/纳米晶薄膜复合材料的制备与表征。
机译:可控真空过滤制备晶圆级结晶碳纳米管薄膜的科学与应用
机译:PECVD法制备纳米晶h-BN薄膜及其表征
机译:用于制备大块,薄膜和纳米晶I-III-IV半导体单源前体的新型可商业化途径
机译:利用AG纳米颗粒,由相同硅酸甘油酯构成的多晶硅纳米结构和包含多晶硅纳米晶的多晶硅薄膜电池制造多晶硅薄膜纳米结构的方法
机译:利用单晶硅纳米晶模板制备多晶硅薄膜和多晶硅薄膜晶体管的方法
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