一种新颖的制备聚合物光电薄膜的旋涂装置

摘要

设计了一种新颖的制备聚合物光电薄膜的旋涂装置。该设计在传统旋涂装置的基础了,通过增加聚合物溶液载台转盘法向进动功能,改进了聚合物溶液成膜质地疏松、致密度不高问题,减少了成膜过程中产业气泡等缺陷的几率。通过增加聚合物溶液载台转盘径向变轴功能,改善了聚合物薄膜径向厚度的均匀性,从而可以借助于旋涂法制备更大尺寸的薄膜器件。理论和试验结果表明,该项改进设计对提高聚合物光电薄膜的制备质量有一定的实用价值。