三点法的稳定性问题

摘要

误差分离技术中的时序三点法(STRP),由于它显著地提高了测试精度,并具有便于实时控制补偿的特点,使这种方法在精密自动测量和精密加工的补偿技术中受到极大的关注。本文针对直线度误差分离中的STRP法进行了分析,并讨论了此法中的稳定性问题。