CIGS太阳能电池用CBD-CdS/Zn(S,O)复合缓冲层的研究

摘要

制备了CdS/Zn(S,O)复合缓冲层,通过zn(S,O)改善窗口层光透过率,同时通过CBD—CdS与CuInxGa1-xSe2(CIGS)吸收层保留良好的结性能。CdS采用化学溶沉积(CBD)工艺制备,Zn(S,O)采用氧气氛磁控溅射工艺制备。研究了溅射气氛中氧分压、CBD—CdS厚度以及zn(S,O)薄膜沉积的衬底温度对复合缓冲层透过率的影响。透过率测试表明氧掺杂可以改善ZnS薄膜的透过率,制备的Zn(S,O)薄膜在300~1500nm波段范围的平均透过率可高达95%,与玻璃衬底相比,在CBD-CdS沉积2min的衬底上制备的CBD—CdS/Zn(S,O)复合缓冲层在300~600nm波段的透过率明显升高,这一波段与太阳光谱的最大能量区间吻合,有利于改善太阳能电池的短波响应特性。