一种MEMS电容式压力传感器的模糊稳健设计

摘要

通过对微电容式压力传感器的结构和工作原理进行分析,建立基于模糊模型法的数学模型,开发相应的算法程序,对微电容式压力传感器进行稳健设计。对结果分析表明,稳健设计结果对噪声因素的误差是不敏感的。