柔性石墨烯放大器MMIC

摘要

石墨烯兼具高电子迁移率以及优良机械韧性的优点,石墨烯同柔性衬底的结合有望突破柔性电子高频化的技术瓶颈,推进柔性电子的在携式无线通讯、监护电子等方面的应用进程。然而,由于一直没找到合适的衬底以及兼容的集成工艺,柔性石墨烯器件特别是集成电路的研制一直受到限制。南京电子器件研究所结合硬质基板上石墨烯器件和电路的研制经验,选择具有原子级平整度、耐高温的云母片作为器件衬底,突破无损转移、自对准等技术挑战,成功制备了高性能的石墨烯FET器件和放大器MMIC [如图1(a)所示]。