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林晶; 于贵文; 孙智慧; 张莉; 巩雪; 钱锋;
哈尔滨商业大学包装科学与工程技术实验室;
东莞市德派精密机械有限公司;
等离子体增强原子层沉积; PET; 阻隔性; 增透性;
机译:从前体化学到气体传感器:来自氧化锌层的等离子体增强的原子层沉积工艺,来自氧化锌层,用于阻气和传感器应用
机译:在4H-碳化硅后沉积退火的等离子体增强原子层沉积在等离子体增强原子层沉积的致密化
机译:原子层沉积和等离子体增强原子层沉积Ta_2O_5的比较研究以及对原位氮化的电性能的影响
机译:使用Ruo 4 IM>和H 2 INM> -H 2 INF> -PLASMA使用低温热和等离子体增强原子层沉积钌的原子层沉积钌沉积
机译:用于直接板衬和铜扩散阻挡层应用的钌-氮化钛混合相层的等离子体增强原子层沉积。
机译:等离子体增强原子层沉积对不同化学计量SiOx膜的系统研究及其在SiOx / SiO2超晶格中的应用
机译:从前体化学到气体传感器:来自氧化锌层的等离子体增强的原子层沉积工艺,用于阻气和传感器应用的非渗透锌前体
机译:等离子体增强原子层沉积ag薄膜的类似等离子体行为。
机译:有机光电组件,即有机LED,制造方法,涉及通过等离子体增强的原子层沉积和等离子体增强的化学气相沉积在有机功能层上施加阻挡层。
机译:用于高效和经济性等离子体增强原子层沉积(PEALD)和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的混合设计技术
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