退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
Yuanxin Zhao; 赵元鑫; Lijun Sang; 桑利军; Zhongwei Liu; 刘忠伟;
中国机械工程学会;
中国表面工程协会;
氧化铝薄膜; 热原子层沉积法; 等离子体辅助原子层沉积法; 微观结构; 性能评价;
机译:DBD等离子体辅助原子层沉积氧化铝阻挡层在自降解聚乳酸薄膜表面上
机译:不同等离子体源的等离子体辅助原子层沉积Al2O3薄膜的研究
机译:通过氧化剂的等离子体辅助原子层沉积在甘烷上的单层极限氧化铝
机译:采用氧化铝膜通过等离子体增强原子层沉积使用氧化铝薄膜的防潮屏障和化学腐蚀保护
机译:利用阳极氧化铝纳米模板和原子层沉积之间的工艺协同作用:从薄膜到3D纳米电子设备。
机译:高密度Ni纳米粒子的等离子体辅助原子层沉积用于非晶In-Ga-Zn-O薄膜晶体管存储
机译:在2 V下工作的有机薄膜晶体管中通过原子层沉积制备的氧化铝:与UV-臭氧氧化的比较
机译:阳极氧化铝模板原子层沉积法制备纳米多孔活性氧化铱薄膜
机译:等离子体原子层沉积装置及利用等离子体原子层沉积形成氧化物薄膜的方法
机译:利用等离子体增强原子层沉积法通过辅助结构控制技术为紫外发光器件形成多组分薄膜的方法,以及使用相同的,能够容易地控制厚度的量子阱的方法InxAlyGazN薄膜
机译:等离子体模块和具有该等离子体模块的原子层沉积设备以及使用该等离子体模块的原子层沉积方法
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。