氧化铝陶瓷表面状态对其真空耐压性能的影响

摘要

系统研究了经过研磨加工、陶瓷表面施釉及表面涂覆等工艺处理后,氧化铝陶瓷表面状态对其真空耐压性能的影响。结果发现,表面未加工的95%Al2O3陶瓷的可靠电压波动较大,波动幅度可达50%,但经过研磨加工后可靠电压值趋于一致;表面涂覆可以改善氧化铝陶瓷的真空耐压性能,并且改善的情况与涂覆的结构有关;而表面施釉不仅不能改善陶瓷的真空耐压性能,而且还降低了其真空耐压性能。