基于遗传算法的真空磁控溅射射频阻抗匹配仿真研究

摘要

针对真空磁控溅射射频电源阻抗匹配问题,设计射频L型阻抗匹配网络结构。在负载阻抗不同速率变化时,基于遗传算法优化反射系数指标,通过调节匹配网络中两个电容值以达到与射频源的阻抗匹配。大量仿真结果表明,遗传算法的阻抗匹配过程,反射系数能够很快地被调节到最佳值;即使负载阻抗产生较大突变,匹配网络亦能使反射系数快速恢复到最佳匹配点。匹配过程速度快、在最佳匹配点处反射系数波动小、匹配系统精度高。