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张健; 巴德纯; 赵崇凌; 陆涛;
东北大学机械及自动化学院;
射频磁控; TaN薄膜; 氮分压; 沉积温度; 沉积时间;
机译:使用大功率脉冲反应磁控溅射制备钽氮化钽薄膜的微观结构和电性能
机译:反应性直流磁控溅射沉积氮化钽薄膜的微结构,化学和电学性能研究
机译:射频磁控溅射制备氧氮化钽薄膜的特性
机译:研究磁控溅射生产的氧化锌基薄膜的结构,电,光和磁性能。
机译:射频磁控溅射制备(MgAl)共掺杂ZnO薄膜的光电性能研究与研究
机译:氮化钽薄膜的结构和电学性能 采用反应射频磁控溅射法制备
机译:射频和直流磁控溅射制备电解质和电极薄膜的性能
机译:用射频磁控溅射法和薄膜太阳能电池用射频薄膜制备木质薄膜的方法
机译:制备具有增强的介电性能的薄膜氧化钽层和采用这种层的电容器的方法
机译:柱状微结构介电薄膜的沉积方法及其介电薄膜结构,能够通过改变基体和振荡的振荡速度来获得介电薄膜的各种柱状微结构。
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