热处理对Co-Cr-Ta合金靶材磁性能的影响

摘要

基于磁控溅射磁性薄膜存在铁磁性靶材难以正常溅射的问题,本文从改善靶材的制备工艺,提高靶材表面漏磁率出发,结合Co-Cr-Ta合金的差示扫描量热法曲线,采用不同的热处理制度对Co-Cr-Ta合金进行了热处理,并测定了不同热处理制度下Co-Cr-Ta合金的相结构、织构和靶材表面的漏磁率,发现热处理后,Co-Cr-Ta合金的主相由面心立方的Co相转变为密排六方的Co相,形成c轴趋于平行轧制面的{1 2 10}和{10 10}线织构,靶材表面的漏磁率增大5倍,并且漏磁率随热处理保温时间的延长而增大,得出了最佳热处理保温时间。Co-Cr-Ta合金经过热处理后,发生相变并形成{1 2 10}和{10 10}的线织构,是漏磁率增高的根本原因。