在加YSZ缓冲层的硅上YBCO超导薄膜的研制

摘要

利用射频磁控溅射方法在Ｓｉ（１００）衬底上生长ＺｒＯ２薄膜作为缓冲层，以阻止Ｓｉ与ＹＢＣＯ的反应，多面用直流磁控溅射方法，在其上做出了Ｔｃ为８５Ｋ的ＹＢＣＯ超导薄膜。该文对这种ＹＢＣＯ／ＺｒＯ２／Ｓｉ结构的工艺条件进行了研究分析。