超导／半导兼容技术在微电子技术中的应用

摘要

该文针对ＶＬＳＩ系统集成度提高后产生的一些问题，提出了将超导／半导兼容技术应用于微电子技术中，并对超导／半导兼容材料的制作以及超导／半导兼容技术，包括超导引线，超导／半导兼容器件与ＩＣ，超导／半导混合ＩＣ进行了讨论。