沟槽栅IGBT结构参数设计与动、静态性能优化

摘要

近年来，随着沟槽栅软穿通技术的发展，IGBT的性能不断提升。沟槽栅IGBT的动、静态性能与栅结构、栽流子存储层、软穿通缓冲层等密切相关。在实际应用中，需根据不同的应用需求如低导通压降、低关断损耗或宽安全工作区性能等，对IGBT的综合性能进行优化设计。本文研究了沟槽栅IGBT的结构设计参数对器件性能的影响，并在此基础上探索了基于低电感应用条件的电动汽车IGBT的参数设计。