超纯水管道设计及管材选择

摘要

随着半导体、集成电路的发展,特别是大规模集成电路发展到超大规模集成电路阶段,电路线宽已小于1μm以下。对生产过程中所使用的纯水水质更加严格(表1)。水质主要指标是电阻率、微粒、细菌和总有机碳