深背景紫外滤光片制造技术

摘要

正深背景紫外滤光片是一种特殊类型的滤光片,在设计方面,着重分析研究了提高诱导滤光片背景截止深度的机理和改善通带波形的方法,并由此设计了四层金属(AL)结构的耦合型诱导透射滤光片。在工艺方面,对不同材料的蒸镀工艺做了大量实验,确定了适当的工艺参数。解决了四层铝诱导滤光片制造技术、短波通截止滤光片制造技术、诱导滤光片-色玻璃滤光片-干涉截止滤光片组合技术。