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钆镓石榴石超精密无损伤加工技术

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内容简介:钆镓石榴石GGG是磁泡存贮器件,光磁性器件等最重要的外延衬底,属高硬度脆性晶体。目前加工存在晶体定向精度

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来源
《中国高校科技》|1996年第12期|P.9-9|共1页
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正文语种 CHI
中图分类 F723.84;
关键词
钆镓石榴石; 加工技术; 超精密; 脆性晶体; 无损伤; 外延衬底; 晶体定向; 高硬度; 存贮器件; 磁性器件;

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