Simulation and Diagnostics of Strains in the Subsurface Layers of Gadolinium—Gallium Garnet Single Crystals Implanted with F$^{+}$ Ions

摘要

На основі оброблення експериментальних даних високороздільчої Рентґенової дифрактометрії із застосуванням статистичної динамічної теорії дифракції Рентґенових променів у дефектних кристалах одержано розподіл пружніх деформацій за глибиною приповерхневого шару монокристалів ґадоліній-ґалієвого ґранату, яких було імплантовано йонами F⁺ з енергією у 90 кеВ. Проаналізовано залежність характеристик деформованого стану кристалу від дози йонної імплантації.