恒压式气体微流量计的测量误差分析

摘要

恒压式气体微流量计（ＣＰＦＭ）被多个国家级实验室选作为计量学设备，用来校准真空规和真空漏孔。该文从理论上对ＣＰＦＭ和带参考室的ＣＰＦＭ的流量测量误差进行了分析。测量过程中温度波动和压力波动对ＣＰＦＭ的流量测量误差作用较大。为ＣＰＦＭ增加一个适当的参考室，可以减小测量过程中变容室温度地ＣＰＦＭ的流量测量误差的贡献。