大气压低功率微波等离子体源的研究进展及其应用展望

摘要

相比于低气压微波等离子体，大气压下微波放电具有密度大、活性高及产生设备简单等优异特征．但由于大气压下微波放电常呈现为流注形式，激发此环境下的微波放电需要很高的入射功率．因此，大气压微波放电的实现代价较高，实际应用较困难．针对大气压低功率微波放电难于实现的科学技术难题，本文重点陈述了大气压低功率微波等离子体源的研究现状及其应用展望．首先综述了国际上4类典型大气压低功率微波等离子体源的研究开发现状，接着介绍了该领域数值计算方面的研究进展，然后探讨了大气压低功率微波放电的物理机制，最后给出几个工程应用实例，并对潜在的应用前景进行了展望．