超微细加工及设备

摘要

TN305 96032038光刻物镜部分相干成像的模拟计算方法研究=Simulatedcalculation methods of partial coherentimaging of photolithographic objectives[学,中]/唐波(中科院光电技术研究所.四川,成都(610209)).-61页.-1995,4. 介绍了一种模拟计算部分相干光成像的实用化方法。根据Hopkins的部分相干理论,推导出数值计算模型。根据计算公式编制了部分相干成像模拟计算软件,可用于研究光刻成像中物镜的数值孔径、光源的波长、相干因子、离焦、波像差。