超微细加工及设备

摘要

TN305.2 98032037GaN用衬底材料LiGaO2晶体超精密抛光的初步实验 =Primary study of superpolishing of LiGaO2single crystal for a substrate of GaN thin film[刊,中]/谢论,高宏刚,陈斌,曹建林（中科院长春光机所.吉林,长春（130022））,王建明,刘琳（中科院物理研究所.北京（100080））∥光学精密工程.—1997,5（5）.