制膜技术与装置

摘要

O484.1 2002032073一种提高极值法监控精度的方法=Method to improvethe precision of turning point monitoringapproach[刊,中]/张晓晖,陈清明,朱伟民,汤炜,杨光(华中科技大学激光技术国家重点实验室.湖北,武汉(430074))//激光技术.-2001,25(5).-386-390提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值。这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度。