LED芯片16种衬底、外延及芯片结构分析

摘要

LED外延现阶段普遍使用图形化衬底（PSS）,PSS目前分为微米级PSS和纳米级nPSS,微米级PSS有各种形状图形,图形高度一般1.1-1.6μm,园直径2.5-3μm,周期约4μm,采用光微投影及电浆干式蚀刻技术,一般可提高光效30-40%.nPSS一般采用纳米压印技术,图形大小约260nm,周期约460nm,一般可提高光效70%左右.