半导体场效晶体管型pCO₂传感器研究

摘要

本文对采用氢离子敏感场效应晶体管制作场效应晶体管型pCO₂传感器进行了初步探讨。从理论上分析了其敏感机理、稳定性、响应速度及传感器设计原则,获得了令人满意的实验结果。