TiO2薄膜氧敏特性研究

摘要

金属氧化物随氧分压不同，有改变电导率这一性质而被广泛地用来制作氧敏传感器，传统的传感器大多是体材料或厚膜材料，工作时需加高温。本文描述的是ＴｉＯ２薄膜材料与Ｐｔ薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分压不同而改变的氧敏现象，测定了该肖特基二极管的氧敏特性，并讨论了它的敏感机理。