形状参数对MEMS霍尔器件性能影响研究

摘要

利用有限元分析软件ANSYS对长方形和圆形两种霍尔器件的工作状态进行模拟，分析霍尔片（霍尔器件工件区域）结构尺寸与霍尔器件灵敏度的关系，研究形状对器件灵敏度的影响．结果表明：圆形霍尔片灵敏度比长方形霍尔片的高，当圆形霍尔片的半径与厚度比值为15时，灵敏度最高．