微机械陀螺ASIC接口电路设计

摘要

在分析微机械陀螺接口电路工作原理的基础上，采用中电集团第24研究所的3μm 10V P-well标准模拟CMOS工艺设计并制作了微机械陀螺ASIC接口电路．电路HSPICE仿真灵敏度为0．252mV／aF．芯片面积为5．5mm×4．4mm，在此工艺流片并进行了芯片测试．结果表明，在10V电源电压下，其功耗为49．3μw，输出摆幅为4．85±3．1V，输出节点的零点偏离为0．15V．此芯片具有微陀螺驱动及信号检测功能，可实现与微陀螺敏感结构的双片集成．