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一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法

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摘要

研究了一种准标准格式的三维实体文件的结构，在此基础上提出了三维实体到标准工艺版图的转换方法，并采用VC＋＋编程语言开发了相应的转换接口．最后通过典型MEMS器件——微机械加速度计进行了验证，结果表明这种转换方法是切实可行的．

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来源
《传感技术学报》|2006年第5a期|P.1333-1336|共4页
作者
徐景辉; 苑伟政; 常洪龙; 谢建兵;
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作者单位

西北工业大学微／纳米系统实验室,西安710072;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类计算机集成制造;
关键词
MEMS; CAD; 三维实体; 版图; 接口;

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