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吴学忠; 肖定邦; 李圣怡;
国防科技大学,机电工程与自动化学院,长沙,410073;
微加速度计; MEMS; 闭环检测; 调制解调;
机译:通过电阻尼改善电容式微加速度计的动态性能
机译:减少三轴电容式微加速度计梳状驱动中的主动间隙,以增强感测电容和灵敏度
机译:具有自检电路的低失真ΣΔ电容式微加速度计
机译:电容式硅微加速度计的降噪技术研究
机译:用于电容式微加速度计的低噪声CMOS接口。
机译:基于硅通孔的电容式MEMS传感器3D封装技术研究
机译:用于纳米级微加速度计的高灵敏度编码器式微区域改变电容式传感器
机译:非接触式电容式波传感器。第二部分。电容式波传感器的设计与开发,
机译:sigma-delta电路来补偿电容式微加速度计的电容失配
机译:电容式微加速度计及其制造方法
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