一种无阀微流体驱动器的研究

摘要

一种适用于微流体系统的无阀驱动器利用印刷电路板(PCB)制作腔体以及扩散口和喷口,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为振动膜,并利用压电双晶片作为驱动部件.该驱动器的制作工艺简单,使用寿命长,具有良好的液体驱动性能.对于使用15 mm长的压电双晶片制作的驱动器,在100 V、60 Hz、占空比为1的方波驱动下,最大流速可达150 μL/min.