压电折叠梁微执行器的低电压优化设计

摘要

采用理论分析和有限元数值模拟相结合的方法,对压电折叠梁微执行器在低电压下工作时的器件结构进行优化设计.首先通过理论分析获得优化的器件结构参数,再通过有限元模拟验证理论分析结果.在器件设计中,通过综合考虑制造工艺、工作条件、器件应用的可靠性,对压电悬臂梁长度、单晶硅层厚度、折叠梁级数,以及工作电压进行折衷优化,获得低电压应用时最佳的器件参数.