PSD相位法测量技术研究

摘要

PSD(Position-Sensitive Detector)相位检测技术具有处理电路简单、检测精度高、抗干扰能力强等优点,具有良好的应用前景.依据PSD的传输线模型,通过Matlab数值模拟和实验得出PSD两电极的相位差-光点位置有显著的线性;分别用40 kHz,60 kHz的正弦调制光激励PSD得到相位-光点位移实验曲线.通过实验,得出影响相位法检测精度的因素主要有PSD输出电压随入射光强非线性变化,PSD光敏面光电参数不一致,光源干扰等.研究工作对相位法的应用提供了一定的参考依据.