FABRICATION OF DIAMOND TUBES IN BIAS-ENHANCED HOT-FILAMENT CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM

摘要

有由用有钽的提高偏爱的热细丝化学药品蒸汽免职(CVD ) ，电线正在被优化的丙酮和氢的煤气的混合的钨电线底层上的薄电影安排了的钻石的免职被调查。self-supported 钻石试管被离开蚀刻钨底层获得。在底层的移动前后的钻石电影的质量被扫描电子显微镜(SEM ) 和 Ramanspectrum 观察。有好优秀、一致的厚度的圆柱的钻石试管被使用偏爱在钨电线上获得的结果表演提高了热细丝 CVD。在底层由 H_2O_2 和 NH_4OH 的混合离开蚀刻以后，在在免职期间形成的钻石电影的压缩应力被释放。在在底层移动以后的钻石试管没有剩余压力。