氢气、氢气/硅烷等离子体时间分辨光发射谱的研究

摘要

为了加深对等离子体增强化学气相沉积的认识,采用增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了氢气及氢气/硅烷混合气体在不同气压条件下的时间分辨光发射谱,获得了辉光放电等离子体瞬态微观动力学过程的清晰图像.纯氢气辉光条件下,在一个射频周期内,Hβ时间分辨光发射谱出现了4个峰.分析表明其中两个峰是由电子冲浪效应引起,额外两个峰的出现是由瞬时阳极时刻存在额外电场所致.另外,可观察到随着气压的增大,体欧姆加热效应增强.同氢气相比,当硅烷引入后,Hβ时间分辨光发射谱由原来4个明显发射峰变成了两个明显发射峰.