多孔硅发光与量子尺寸效应的实验研究

摘要

利用电化学阳极腐蚀的方法制备了多孔硅膜，实验发现多孔硅膜为多层结构，表现层为纳米结构，蓁为微米结构，多孔硅的物理及化学结构的研究表明多孔硅是一种表面上含硅、氧、氢氟元素组成的化合物包覆盖的钠米晶硅料和微米硅丝，多孔硅的发光主要严自表面纳米结构层，亚微米结构层半未见发光，从实验上证实了多孔硅的发光与量子尺寸效应紧密关系。