在LPE生长中降温和恒温对InAsPSb外延层组分分布的影响

摘要

采用ＬＰＥ技术，生长出ＩｎＡｓＰＳｂ外延层，研究了降温、恒温两种方法对外延层组分分布的影响。结果表明，用恒温方法生长时，外延层中Ｐ、Ｓｂ组分分布较为均匀，在脉冲电流激发下，得到了３．０９μｍ激光输出。