CeO2-ZrO2复合氧化物的制备及协同抛光性能

摘要

@@ 由于铈锆复合氧化物在催化[1-3]、燃料电池[4]、陶瓷[5]等领域具有广泛的应用而受到国内外学者的普遍关注.有关其合成方法和应用性能的研究也已相当广泛,但大多数是采用化学法和高温固相反应法来合成,而且主要是针对催化和陶瓷应用目标来开展的[6,7].事实上,氧化锆和氧化铈两种氧化物均可用于光学玻璃的抛光,尤其是氧化铈基抛光粉在阴极射线管玻璃、光学玻璃、液晶显示器玻璃和电脑光盘抛光方面的应用,对于推动相关技术的发展起着十分重要的作用[8-9].随着超高密度集成电路的发展,对表面平整化所用抛光或研磨材料的要求越来越高,因此,如何制备切削速度快、被抛表面精度高、生产成本低、外观漂亮的新型抛光材料是当前半导体和微电子领域的重点研究内容之一.