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各向异性腐蚀在PH传感器中的应用

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摘要

在微机械加工中,硅的各向异性腐蚀是关键技术之一.特别在当今微机械加工向微型化、多功能化及智能化发展之际,更需利用硅的各向异性腐蚀来制备三维结构.对于单晶硅材料,主要腐蚀剂如表1所示.

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来源
《电子器件》|1991年第3期|39-42|共4页
作者
陈德英; 唐国洪;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类干法腐蚀工艺;
关键词
微细加工; 各向异性; 腐蚀; PH传感器;

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