图形反转方法制备MEMS器件电极的研究

彭自求; 王军; 袁凯; 蒋亚东

首页> 中文期刊> 《电子器件》 >图形反转方法制备MEMS器件电极的研究

图形反转方法制备MEMS器件电极的研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

研究了利用AZ5214光刻胶图形反转实现抗腐蚀金属NiCr剥离的关键工艺步骤,该方法可以用于制备金属电极,进而优化器件性能.理论上讨论了图形反转的形成机理,根据Dill理论对光刻胶曝光模型进行了推导,并使用MATLAB模拟工具对其进行了仿真.通过优化各项工艺参数,得到了最佳倒台面结构,并制备了精度达到1μm宽的用于MEMS器件的金属NiCr电极.

著录项

来源
《电子器件》 |2010年第5期|557-560|共4页
作者
彭自求; 王军; 袁凯; 蒋亚东;
展开▼
作者单位

电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;

电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;

电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;

电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
AZ5214光刻胶; 图形反转; 倒台面; 反转烘;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 利用溅射反转剥离工艺实现微放电器Ni电极图形化 [J] . 张秋萍 ,文莉 ,向伟伟 . 中国科学技术大学学报 . 2010,第004期
2. MEMS器件中电极制作工艺的研究 [J] . 张清涛 ,李艳秋 . 微细加工技术 . 2005,第003期
3. 电位传感器聚(1,2-二氨基苯)膜化学修饰电极——Ⅰ.电极制备方法的研究 [J] . 朱则善 ,赵崇涛 ,王清萍 . 分析试验室 . 1991,第6期
4. 化学传感器电极制备新方法——全氟磺酸离子交换膜电极制备法 [J] . . 传感器世界 . 2009,第11期
5. 新型聚酰亚胺图形化工艺制备视网膜电极 [J] . 徐旻 ,陈迪 ,周然 . 微纳电子技术 . 2010,第2期
6. MP-CVD方法制备Ti/BDD电极过程中硼掺杂量对电极性能的影响 [C] . 孙见蕊 ,林海波 ,李红东 . 2009年第十五次全国电化学学术会议 . 2009
7. 新型超微电极的制备及在微图形构建方面的应用 [A] . 段艳林 . 2007

1. 一种硫化矿工作电极制备方法、工作电极及研究方法 [P] . 中国专利： CN112782250A . 2021-05-11

2. 加热电极埋入式MEMS器件及其制备方法 [P] . 中国专利： CN107915201A . 2018-04-17

3. RECOMBINANT GENE, IN PARTICULAR DEFECTIVE RECOMBINANT RETROVIRUS AND ACTIVABLE BY A TRANSACTIVATOR, CELLS CONTAINING THEM, PROCESS FOR PRODUCING THE SAME AND APPLICATIONS THEREOF, IN PARTICULAR FOR THE IN VITRO DETECTION OF A RETROVIRAL INFECTION OR THE STUDY OF IN VITRO INHIBITION INFECTION WITH ACTIVE INGREDIENTS OF MEDICINES [P] . 外国专利： FR2621924A1 . 1989-04-21

机译：重组基因，特别是缺陷型重组逆转录病毒，可通过交易者激活，包含它们的细胞，其制备方法及其应用，特别是在体外检测反转录病毒感染或进行体外感染研究药物

4. ELECTRODE FOR MANUFACTURING POLARIZATION INVERSION STRUCTURE, METHOD FOR MANUFACTURING THE ELECTRODE, APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING THE POLARIZATION INVERSION STRUCTURE [P] . 外国专利： JP2008158017A . 2008-07-10

机译：制造极化反转结构的电极，制造电极的方法，装置和制造极化反转结构的方法

5. ELECTRON-INTERFERENCE METHOD OF DETECTING LOCATION AND TYPES OF MOLECULAR GROUPS ON SURFACES OF SMALL BIO OBJECTS INCLUDING NUCLEOTIDE SEQUENCES AND DEVICE THEREFOR(57) The invention relates to detecting a bio-objects structure, it can be used in studying surface structure of small bio-objects such as macromolecules and detecting a location and a type of molecular groups disposed thereon. A device comprises a base with a substrate made from a non-conductive material thereon, a photocathode and an anode, wherein there is a site therebetween for an object to be studied and electron scatterers. There is at least one window inside the photocathode, the photocathode areas bordering the window made from a material with a reduced work function. The window is connected to a region beyond the photocathode by at least one slit, its length exceeds its width. A cooling electrode is arranged at a small depth under the window and the slit region, wherein an accelerating electrode is arranged the ph [P] . 外国专利： EA012215B1 . 2009-08-28

机译：检测包括核苷酸序列和装置在内的小生物物体表面上分子组的位置和类型的电子干扰方法（57）本发明涉及检测生物物体的结构，可用于研究小型生物物体的表面结构物体（例如大分子）并检测其上放置的分子的位置和类型。一种装置，包括具有在其上的由非导电材料制成的基底的基底，光电阴极和阳极，其中在其之间存在用于研究对象的位置和电子散射体。光电阴极内至少有一个窗口，该光电阴极区域与窗口相邻，该窗口由功函数降低的材料制成。窗口通过至少一个狭缝连接到光电阴极之外的区域，其长度超过其宽度。在窗口和狭缝区域下方以较小的深度布置有冷却电极，其中在电极和缝隙区域下方布置有加速电极。

相关主题

图形反转方法制备MEMS器件电极的研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅