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光纤原料四氯化硅中微量三氯氢硅的气相色谱分析

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采用石英毛细管柱与氩检测器相联结的气相色谱方法定量检测高纯的光纤原料四氯化硅中微量三氯氢硅等杂质。该方法简单、可靠，三氯氢硅的检测下限达０．１×１０＾－１Ｗ／Ｗ。 ?

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来源
《色谱》 |1994年第2期|108|共1页
作者
李卜森; 朱新芳; 张琪;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类波导光学与集成光学;
关键词
色谱; 三氯氢硅; 四氯化硅; 光学纤维;

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