基于微机电系统的微型气相色谱柱研究进展

摘要

气相色谱柱是气相色谱仪的关键部件,主要用于混合气体组分的分离.与传统气相色谱柱相比,基于微机电系统(MEMS)技术设计制作的微型气相色谱柱具有重量轻、体积小、功耗低、分离快速等优点,便于集成到便携式气相色谱仪中,适应了目前气相色谱仪微型化的发展趋势.该文综述了MEMS微型气相色谱柱的研究进展,首先阐述了MEMS微型气相色谱柱理论基础,随后对MEMS微型气相色谱柱沟道布局及柱内结构、固定相支撑层及固定相制备等方面进行了综述,最后对其发展趋势进行了展望.